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*本文轉載自：CTI華測半導體測試與分析服務公眾號
繼CTI華測檢測半導體檢測及分析中心合肥FA實驗室完成場地擴容、硬件煥新后，我們又迎來關鍵一步：國儀量子SEM-4000X場發射掃描電子顯微鏡已于2026年3月正式導入運營，中部地區半導體微納分析能力再上新臺階！
此前，實驗室已通過場地科學布局與硬件擴容，實現化性實驗、切片實驗兩大核心環節產能提升超50%。如今SEM-4000X投用，讓實驗室實現從“效率提升"到“精度升級"的關鍵跨越。
高清成像，精準捕捉微納細節
專為半導體失效分析與材料表征設計，低電壓模式下可清晰捕捉芯片微納結構，有效減少荷電效應和輻照損傷，讓缺陷與界面信息無所遁形。
大樣兼容，適配多元分析需求
配備快速換樣倉，可支持4寸晶圓（直徑100mm），滿足客戶對更大尺寸樣品的分析需求，適配晶圓、元器件等多樣品形態檢測。
SEM-4000X核心參數
分辨率：0.9nm@30KV(SE)，1.0nm@15KV(SE)，1.8nm@1KV(SE）
加速電壓：200V-30KV
放大倍率：1～1,000,000X
樣品臺行程：X=110mm，Y=110mm，Z=50mm，支持-10°～+70°傾斜
電子槍類型：肖特基場發射電子槍，確保長期穩定性
實驗室已完成“效率+精度"雙重升級，將以更高效的制樣流程、更精準的微納分析能力，為半導體、新能源、先進制造等行業提供可靠檢測支撐。
未來，CTI華測檢測半導體檢測及分析中心合肥FA實驗室將持續深耕技術、優化服務，以硬核實力助力客戶定位問題、優化產品性能，攜手行業伙伴探索半導體產業更多可能。
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